大赢家棋牌 大规模应用于其沉积、刻蚀、封装、清洗等工艺制程. 在材料表面改性、新材料制备、生物灭菌消毒、等离子体隐身、医

 焊锡膏     |      2021-05-19 12:54

气体放电发生的等离子体是集成电路制备不行或缺的要害技能, 操作等离子体中活性粒子赋予的奇特的物理和化学特性, 可为超大局限集成电路制备提供具有定向性、选择性和纳米级风雅性的绿色先进加工技能, 大局限应用于其沉积、刻蚀、封装、清洗等工艺制程. 在质料外貌改性、新质料制备、生物灭菌消毒、等离子体隐身、医疗器具及人造器官的清洗、臭氧生成、新型光源、废弃物处理惩罚等规模也具有极其重要的应用前景, 其低温加工的特性使其成为柔性可穿着智能质料和器件最符合的加工技能之一.

等离子体质料处理惩罚技能与等离子体和质料的彼此浸染密切相关. 差异的等离子体源及其放电设计具有差异的等离子体温度、密度、活性种类和布局特性, 适应差异种类的质料处理惩罚; 差异种类的质料处理惩罚对等离子体特性也有差异的要求, 而且反过来影响等离子体放电的进程和特性. 因此需要深入研究等离子体放电技能、等离子体特性诊断、等离子体质料处理惩罚的机理等, 出格是针对各类应用需求成立其与等离子体特性的关联与机制, 促进等离子体质料处理惩罚技能在风雅加工、新质料制备等各规模的应用. 研究要领包罗理论数值模仿、诊断和尝试研究.

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         鉴于等离子体放电与质料彼此浸染规模要害物理问题研究的挑战性与紧要性, 《物理学报》特组织“等离子体物理及其质料处理惩罚”专题, 邀请海内部门活泼在该规模前沿的专家撰稿, 以综述和研究论文的形式, 从等离子体物理及其质料处理惩罚的角度, 较全面、深入地探讨该规模最新研究成就. 主要有以下三方面内容: 1) 等离子体放电根基进程和机理研究, 包罗低气压感性耦合等离子体源模仿研究希翼、大气压脉冲放电等离子体射流特性及机理研究、常压针-板放电等离子体密度演化研究; 2) 等离子体特性与诊断研究, 包罗容性耦合等离子体中电子加热进程及放电参数节制、电非对称双频容性耦合 CF4/Ar 放电电极间距对放电模式和刻蚀剖面影响的研究、基于前馈神经网络的等离体光谱诊断要领研究; 3)等离子体质料彼此浸染研究, 包罗非热等离子体质料外貌处理惩罚及成果化研究希翼、常压等离子体对柔性多孔质料外貌处理惩罚匀称性的研究希翼、多孔质料的低温刻蚀技能、等离子体制备自修复超疏水涂层纤维、大气压电晕等离子体射流制备氧化钛薄膜的研究、等离子体对石墨烯的成果化改性、螺旋波等离子体制备多种碳基薄膜原位诊断研究、等离子气化技能用于固体废料处理惩罚的研究希翼.

但愿本专题能促进等离子体物理及其质料处理惩罚技能的进步, 以及与各交错研究规模的交换, 扩大海内等离子体物理及其质料处理惩罚研究的影响, 敦促该规模研究的发达成长.

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